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ASM EAGLE XP
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    ASM

    EAGLE XP

    已建立: December 19, 2022

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    關鍵商品詳情

    條件: As Is

    產品編號: 67819

    晶圓尺寸: 12"/300mm

    年份: 2010

    描述

    無可用的說明

    配置

    Process PE-ALD System Software Version Eagle I ASMJ software (Windows embedded XP / OS) Process PE-ALD Oxide, HT-SiO/HT-SiN Hardware Configuration (fab): Main System ASM PE-ALD System Mainframe 1 Handler System FI: Kawasaki / Vac: JEL 1 Factory Interface FOUP 2 Options System Others Process Chamber (RC3 / RC4) 2 Hardware Configuration (subfab/ auxiliary units): Power Rack 1 Missing/ Faulty Parts/ Accessories List: Throttle Valve 1 HF Generator 1 (Generator replaced)

    其他資訊
    未提供其他資訊
    OEM 代工型號說明

    Chemical Vapor Deposition

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