待售二手貨 HITACHI IS-3000

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IS-3000

已驗證

類別

關鍵商品詳情

條件:Used

作業狀態:

產品編號:13276

晶圓尺寸:未知

年份:2007

描述

DARK FIELD

配置

無配置

文檔

無文檔

OEM 代工型號說明

IS3000 is a state-of-the-art dark-field type inspection system for detecting wafer pattern defects. While maintaining high throughput—the advantage of a dark-field-type defect-detection inspection device—the IS3000 is a ground-breaking detection device that surpasses conventional darkfield types in that it can also detect parts of shape defects and foreign bodies in places other than the top wafer surface (such as between interconnections and in contact holes).