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◆ DC : 3 source　[Power Supply : HPK06Z inverted]　 ◆ RF : 1 source　[Power Supply : RFS-1310A] ◆ Main pump;：CP, RP

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SHOWA SHINKU

SPH-2610

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PVD / Sputtering

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PVD / Sputtering年份: 2007條件: 二手上次驗證: 超過60天前