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ASM EAGLE XP8
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    關鍵商品詳情

    條件:Used

    作業狀態:

    產品編號:73743

    晶圓尺寸:未知

    年份:未知

    描述

    Multi-zone patterning oxide, low-k diele

    配置

    無配置

    文檔
    • 文件圖示

      Configuration - ASM EAGLE XP8.pdf

    OEM 代工型號說明

    Eagle XP8 is a high productivity 300mm tool for PEALD applications. The Eagle XP8 PEALD system can be configured with up to four Dual Chamber Modules (DCM), enabling eight chambers in high volume production within a very compact footprint.

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