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PECVD The tool is missing the turbo pump Gases: CF4, H2, Ar, O2 6” only (load-lock)

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PlasmaQuest

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PECVD

上次驗證: 6 天前

關鍵商品詳情

條件:

Used

作業狀態:

未知

產品編號:

140329

晶圓尺寸:

6"/150mm

年份:

未知

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