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STS MULTIPLEX ICP
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    Loadlock Unit & Transfer chamber with robot
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    The STS MULTIPLEX ICP is an etch system. The STS MULTIPLEX ICP can be used with 2” wafer sizes. It has a silicon material plate and ASE polymer system processer.
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    Used

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    未知

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    34747

    晶圓尺寸:

    未知

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