TEL / TOKYO ELECTRON
ALPHA(α)-303i
Diffusion and Oxidation Furnaces
年份: 2005
條件: 原樣
上次驗證
7 天前
ALPHA(α)-303i
概述
ALPHA-303i is 300mm batch thermal processing system equipped functions from the high technology that is cultivated with ALPHA-8SE. 300mm Successor to the Alpha 8SE, smaller load of 100 wafers vs. 150 on previous models.
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