待售二手貨 ASM A400

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A400

已驗證

類別

關鍵商品詳情

條件:Refurbished

作業狀態:

產品編號:65295

晶圓尺寸:未知

年份:1998

描述

ASM A400 with one standard Power Poly reactor and one Dope Power Poly reactor.

配置

ASMi A400 LPCVD Dope PP & LPCVD std PP reactor Heater type: 5 zones Gas panel layout: SiH4 - N2 - Dopand Brooks MFC's Process pressure: 80 ÷ 120 mTorr Process temperature: 620 - 680 °C Genmark MK4 Robot Paddle temprature control PowerPoly specific flanges temp controlled at 80 °C Gas/smoke detection of SiH4

文檔

無文檔

OEM 代工型號說明

The ASM AD400 is a diffusion and oxidation furnaces system used in semiconductor manufacturing. It is designed for processing 8-inch wafers with dual tubes or 6-inch wafers with dual boats. The system's body is anodized to resist corrosion, ensuring durability and reliability during wafer processing.

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