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NIKON OPTISTATION-3000
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    關鍵商品詳情

    條件:Used

    作業狀態:

    產品編號:66601

    晶圓尺寸:未知

    年份:未知

    描述

    無可用的說明

    配置

    Semi-Auto (Auto wafer handler),12" only. Specifications Wafer size: 300 mm (SEMI / M1.15 /t = 750 -20 um), Standard cassette types: FOUP, FOSB, and FFO Micro inspection: Surface, backside, edge, and macro image capture functions Wafer alignment: Non-contact alignment Wafer transfer system: High-speed, multi-axis robot Microscope: Nikon L300 300mm wafer inspection microscope (brightfield/darkfield and DIC observation) Expandability: 200mm wafer transfer, deformed wafer transfer, and thin wafer transfer Power usage: Power supply: 200 VAC -10%, max. 10A, 50/60 Hz Vacuum: -66.7 kPa/-30 NI/min Stage: Manual vacuum contact stage with 360° rotation System reliability: MTBF 1500 hours, Up time > 95%

    文檔
    OEM 代工型號說明

    OPTISTATION-3000 wafer inspection system.

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