描述

無描述

配置

2 Chamber ALD: 1 Ox, 1 Metal Chamber: PM1 ADL Hi K, PM2 ALD Metal TM: Robor Brooks, MegnaTran7 LD: 2ea, Brooks Pump: 2ea, Edwards, IH1000 Acc: MKS Ozone

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AVIZA

Celsior fxP

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類別

ALD

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條件:

Used

作業狀態:

未知

產品編號:

122816

晶圓尺寸:

8"/200mm

年份:

2000

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年份: 2000條件: 二手

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2 Chamber ALD: 1 Ox, 1 Metal Chamber: PM1 ADL Hi K, PM2 ALD Metal TM: Robor Brooks, MegnaTran7 LD: 2ea, Brooks Pump: 2ea, Edwards, IH1000 Acc: MKS Ozone

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