PAS 5500/8TFH-A
概述
The PAS 5500/8TFH-A KrF Step-and-Scan system is a dedicated lithography tool for thin-film head (TFH) production on 125-mm, 150-mm, and 200-mm AlTiC wafers.
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The PAS 5500/8TFH-A KrF Step-and-Scan system is a dedicated lithography tool for thin-film head (TFH) production on 125-mm, 150-mm, and 200-mm AlTiC wafers.
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