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上次驗證:超過60天前
條件:Used
作業狀態:unknown
產品編號:66677
晶圓尺寸:未知
年份:未知
無可用的說明
Specifications: Custom sample rotation head Four pocket Ebeam station Thin Film monitor (IL820) Preclean station Preheat station Oxford Cryosystem’s cryopump E8DP12 Scroll pump FL400 Chamber RF7 Flip control assembly
未提供
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