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條件:Used
作業狀態:
產品編號:72561
晶圓尺寸:12"/300mm
年份:2010
描述
無可用的說明
配置
Process PE-ALD System Software Version Eagle I ASMJ software (Windows embedded XP / OS) Process PE-ALD Oxide, HT-SiO/HT-SiN Main System ASM PE-ALD System Mainframe 1 Handler System FI: Kawasaki / Vac: JEL 1 Factory Interface FOUP 2 Options System Others Process Chamber (RC3 / RC4) 2 Hardware Configuration (subfab/ auxiliary units): Power Rack 1
OEM 代工型號說明
Plasma enhanced atomic layer deposition
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