描述

Hitachi High-Technologies M602A Dry Etcher

配置

2 Etch, 2 strip LD: 2ea, Fortrend Punp: 6ea, 4+2, Ebara, AA40W, AA10 Metal Etch

OEM 代工型號說明

未提供

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HITACHI

M 602A

已驗證

類別

Plasma Etch

上次驗證: 超過30天前

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作業狀態:

未知

產品編號:

93148

晶圓尺寸:

未知

年份:

1997

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HITACHI

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Plasma Etch

年份: 0條件: 二手

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M 602A

Plasma Etch年份: 0條件: 二手上次驗證: 超過60天前